在半(ban)导體及顯示屏镀膜领域(yu),柱状靶材(cai)的純度和致密度直接影響薄膜品質。西(xi)安瑞鑫科针對氯铱酸應用(yong)場景,以 GB/T 8185-2004 和 GB/T 37653-2019 國標為基準(zhun),提供規格从φ50mm 到φ150mm 全覆盖的柱状靶材產品,密(mi)度可達 11.2-11.5g/cm³,雜質(zhi)含量控製在萬分之五以(yi)下。
氯铱酸(suan)柱状靶材在(zai) PVD、PECVD 等溅射工藝中需要承受高(gao)温、高真空(kong)環(huan)節的考驗。我們采用(yong)真(zhen)空熔煉+等(deng)静(jing)壓成型工藝,確保靶(ba)材内部組織均匀无氣(qi)孔,溅射(she)利用率可達 85% 以上。產品已通過 ISO9001 質量管理體系和環境(jing)管理(li)體系認證,在西安、蘭州(zhou)、厦門等地(di)的集成電路(lu)、新(xin)能源電池、光學镀膜等客戶端完成了百(bai)余批(pi)次供應。
针對不同工藝(yi)要求,我們備有高純度(99.95%+)和標準級(99.9%)兩個規(gui)格檔次,單件起订,也支持长期框(kuang)架协議供應。靶材交付前進行氧含量、密(mi)度、几(ji)何精度(du)三項檢測認證,出具第三方(fang)檢驗報告,確保每批產(chan)品稳定性。
如需了解氯铱酸柱状靶材的具體規格參数、定製周期(qi)或樣(yang)品評估,欢迎與 029xljs 靶材技術團隊聯系 18092691906。