铼(lai)粒管状靶(ba)材作為溅射镀膜的關键耗材,在半导(dao)體、光學镀膜、新能源電池隔膜等高端製造领域(yu)需求量持(chi)續增长。西安瑞鑫科在精密靶材研(yan)发與生(sheng)產上有十多年的积累,掌握了从粉體冶金到成型烧結的全套(tao)工藝,能够供應高純度(du)、高密度的铼粒靶材產品。
铼粒管状靶材的選型關(guan)键在於純度、密(mi)度與(yu)管径。根據(ju)GB/T 8185-2004等相關標準,溅射靶材純度需(xu)達(da)99.95%以上,密度在10.5g/cm³左(zuo)右才能保證溅射均匀性與长期稳定性。管状結構(圆管/方(fang)管(guan))適用於圆形或矩形(xing)的磁控溅射枪,規格从Φ50mm小直径(jing)到Φ200mm大直径可(ke)按需(xu)定製。若純度不(bu)足或烧結密度偏低,會导(dao)致溅(jian)射時出現爆點、膜層厚度不均,嚴重影響下游產(chan)品良率。西安瑞鑫科(ke)的铼粒靶材產品執行多項(xiang)國家行業標準,已應用於國内光學薄膜(mo)、半导體芯片(pian)製造等(deng)20余項重大工(gong)程項目中。
公司在(zai)西安、蘭州、厦(sha)門等地具備稳定的供應與技術(shu)支持能力。针對客戶的具體溅(jian)射工(gong)藝參数(靶(ba)功率(lv)、氣(qi)體壓強、磁場強(qiang)度),可提供相應規格與純度的管状靶材方案,並支持小批試樣驗證。如需了解铼粒管状靶材(cai)的具體(ti)規格、純度認證或(huo)定製周期,欢迎通過18092691906與我們(men)聯系。