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硝酸钌管状靶材產品與服務

硝酸(suan)钌作為高端催化剂和芯片製造的關键材(cai)料,西安瑞鑫科金屬材(cai)料(liao)有限責任公司针對其製備工藝研发了專門的管状靶材解決方案。我們的硝酸(suan)钌管状靶(ba)材采用高純度钌源,通(tong)過精(jing)密冶煉工藝製備,密度(du)均匀(yun)、雜質含量(liang)可控,能够(gou)满(man)足溅射沉积、化學氣(qi)相沉积等多種薄膜生长工(gong)藝對靶材的嚴苛要求。

產品規格方面,硝酸钌管状靶材執行 GB/T 8185-2004《銅(tong)及銅合金牌號》、GB/T 37653-2019《高純稀(xi)有(you)金屬及其化合物》等國家標準(zhun)體(ti)系,確保純度達(da)到 99.9% 以(yi)上。靶(ba)材外径可定製 φ25mm 至 φ100mm 範围,壁厚根據溅射功率需求灵活設(she)計,單根长度支持 50mm 至 200mm 多種(zhong)規格。我們(men)配備了激光粒度分析儀、電感(gan)耦合(he)等离子體質谱(ICP-MS)等檢(jian)測設備(bei),保證每批靶材的成分(fen)一致性和密度均匀性在業界先進水平。

西安瑞鑫科已获得質量管理體系認證、環境管理體(ti)系認證和職業健康安全(quan)管理體系認證,並获評陕西省"專精特新(xin)"中小企業。產品已應用於半(ban)导(dao)體器件、光學薄膜、能源(yuan)電池等(deng)领域的多個國家及省市重大項目。我們(men)在西安、蘭州、厦門三(san)地運營,可根據客戶工藝(yi)參数快速(su)定製靶材規格,支持小(xiao)批試驗和大批量稳定(ding)供應。

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