三氯(lv)化钌作為高端溅射靶材的(de)關键材料,西安瑞鑫科金屬材料有限責任公司在该领域(yu)的管状靶材製造工藝已達到國际水準(zhun)。我們的三氯化钌管状靶(ba)材產品執行(xing) GB/T 37653-2019 等(deng)多(duo)項國家標準,廣泛應用於(yu)半导體薄膜沉积(ji)、光(guang)學涂層和(he)微電子製造等领域,為客戶的(de)精密工藝提供稳定的材料(liao)基礎。
管状靶材(cai)的製造难點在於材料的均匀性和密度(du)控製。我們采用先(xian)進的冶煉與成形工藝,確保三氯化钌的純度(du)和結晶結構均匀分布(bu),靶材密度達到 736MPa 至 1422MPa 的工業級水準。產品(pin)尺寸可根據客戶的溅射設備(bei)進行定製,从小径(jing)到大径(jing)規格灵活配置,满足實驗室小批量和工業(ye)化(hua)大規模生產的不同需求。
公司(si)已(yi)通過質量管理體系、環境管理體系及職業健康安全管理體系認證,產(chan)品获(huo)評陕西省"專精特新(xin)"中小企(qi)業资質。多年來我們在(zai)西安、蘭(lan)州、厦門等地的客(ke)戶群體涵盖集成電路(lu)、光電顯示(shi)和新材料研发機構,积累(lei)了超過 40 項发明專利和多項國家(jia)級(ji)重大項目的交付經驗。
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